氣體輸送架GR
產(chǎn)品特性：可實(shí)現(xiàn)電子級氣體的持續(xù)不間斷安全供應(yīng)；主要采用PLC控制，觸控屏為人機(jī)界面或數(shù)顯按鈕式操作界面。
主要特點(diǎn)：自動吹掃、自動切換以及緊急情況下的自動安全切斷。
適用場合：主要適用于IC 、TFT 、Solar 、LED等工廠惰性氣體的供氣需求。
適用氣體：惰性，如CF4,SF6,CHF3,Ar,He等。
氣源供應(yīng)方式：Cylinder
